Микроскоп измерительный — предназначен для измерений линейных размеров и рельефа поверхности.

Микроскоп электронно-ионный сканирующий Helios G4 PFIB UXe (далее — микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и нанорельефа поверхности твердотельных образцов, исследования их элементного состава и кристаллографической структуры, проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов сфокусированным пучком ионов Xe, а также подготовки поперечных срезов для просвечивающего электронного микроскопа.