Эллипсометр — высокочувствительный и точный поляризационно-оптический прибор, предназначенный для исследования поверхностей и границ раздела различных сред.

Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее — меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).