Эллипсометр — высокочувствительный и точный поляризационно-оптический прибор, предназначенный для исследования поверхностей и границ раздела различных сред.
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SЕ (далее по тексту — эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Данная стаття носит исключительно информационно-ознакомительный характер и не несет никакого рекламного или коммерческого подтекста.
