Установка контроля линейных размеров КЛ-1 (далее — установка) предназначена для измерения линейных размеров элементов структур, сформированных на поверхности кремниевых полупроводниковых пластин диаметром 150 мм.
Данная стаття носит исключительно информационно-ознакомительный характер и не несет никакого рекламного или коммерческого подтекста.
